Nemî şertek kontrola jîngehê ya hevpar e di xebitandina odeyên paqij de. Nirxa hedef a nemîtiya nisbî di odeya paqij a nîvconductor de tê kontrol kirin ku di navbera 30 û 50% de be, ku dihêle ku xeletî di nav rêzek teng a ±1% de be, wekî deverek fotolîtografîk - an jî di deverek pêvajoya ultraviyole ya dûr (DUV) de hîn piçûktir be. - Li deverên din, hûn dikarin di nav ±5% de rihet bibin.
Ji ber ku şilbûna nisbî gelek faktor hene ku dikarin beşdarî performansa giştî ya odeya paqij bibin, di nav de:
● mezinbûna bakteriyan;
● Rêzeya rehetiya ku karmend di germahiya odeyê de hîs dikin;
● Barkirina statîk xuya dike;
● korozyona metalan;
● Kondensasyona buxara avê;
● xirabûna lîtografiyê;
● Mijandina avê.
Bakterî û gemarên din ên biyolojîk (qûf, vîrus, fungî, kêzik) dikarin di jîngehên bi şilbûna nisbî ya li jor %60 de bi awayekî çalak zêde bibin. Dema ku şilbûna nisbî ji %30 derbas bibe, hin flora dikarin mezin bibin. Dema ku şilbûna nisbî di navbera %40 û %60 de be, bandorên bakterî û enfeksiyonên rêya nefesê dikarin werin kêmkirin.
Germahiya nisbî ya di navbera %40 û %60 de jî rêjeyek nerm e ku mirov tê de xwe rehet hîs dikin. Germahiya zêde dikare bibe sedema xemgîniyê, lê ger germahiya di bin %30 de dikare bibe sedema hişkbûn, şikestin, nerehetiya nefesê û nerehetiya hestyarî.
Germahiya bilind di rastiyê de kombûna barkêşiya statîk li ser rûyê odeya paqij kêm dike - ev encama xwestî ye. Germahiya nizm ji bo kombûna barkêşiyê û çavkaniyek potansiyel a zirardar a rijandina elektrostatîk guncantir e. Dema ku germahiya nisbî ji %50 derbas bibe, barkêşiya statîk bi lez dest bi belavbûnê dike, lê dema ku germahiya nisbî ji %30 kêmtir be, ew dikarin demek dirêj li ser îzoleker an rûyê bêerd bimînin.
Nermbûna nisbî di navbera %35 û %40 de dikare lihevkirinek têrker be, û odeyên paqij ên nîvconductor bi gelemperî kontrolên zêde bikar tînin da ku kombûna barkirina statîk sînordar bikin.
Leza gelek reaksiyonên kîmyewî, tevî pêvajoya korozyonê, dê bi zêdebûna şilbûna nisbî zêde bibe. Hemû rûyên ku bi hewaya derdora odeya paqij ve têne eşkerekirin, bi lez û bez bi herî kêm yek qatek avê têne nixumandin. Dema ku ev rû ji qatek metalî ya zirav pêk tên ku dikare bi avê re reaksiyonê nîşan bide, şilbûna bilind dikare reaksiyonê bileztir bike. Bi xêra Xwedê, hin metal, wekî aluminium, dikarin bi avê re oksîdek parastinê çêbikin û pêşî li reaksiyonên oksîdasyonê yên din bigirin; lê rewşek din, wekî oksîda sifir, ne parastinê ye, ji ber vê yekê Di hawîrdorên şilbûna bilind de, rûyên sifir ji korozyonê re bêtir hesas in.
Herwiha, di hawîrdorek bi şilbûna nisbî ya bilind de, fotoresîst piştî çerxa pijandinê ji ber kişandina şilbûnê berfireh dibe û xirabtir dibe. Pêvedana fotoresîstê dikare ji hêla şilbûna nisbî ya bilind ve bi rengek neyînî bandor bibe; şilbûna nisbî ya nizm (nêzîkî 30%) pêvedana fotoresîstê hêsantir dike, tewra bêyî ku hewcedariya guherkerek polîmerîk hebe jî.
Kontrolkirina şilbûna nisbî di odeyeke paqij a nîvconductor de ne keyfî ye. Lêbelê, her ku dem diguhere, çêtirîn e ku sedem û bingehên pratîkên hevpar û bi gelemperî qebûlkirî ji nû ve werin nirxandin.
Dibe ku şilî ji bo rehetiya mirovan ne pir berbiçav be, lê ew pir caran bandorek mezin li ser pêvajoya hilberînê dike, nemaze li cihên ku şilî zêde ye, û şilî pir caran kontrola herî xirab e, ji ber vê yekê di kontrola germahî û şilbûnê ya odeya paqij de, şilî tê tercîh kirin.
Dema weşandinê: Îlon-01-2020